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    產(chǎn)品名稱:閉環(huán)三維壓電螺釘運動平臺

    產(chǎn)品型號:XYZ65N81E26

    產(chǎn)品報價:

    產(chǎn)品特點:閉環(huán)三維壓電螺釘運動平臺,該平臺配備了增量式編碼器,對運動行程、精度等可進行精確控制,且精度可達1.5μm。

    更新日期:2023-02-09

    XYZ65N81E26閉環(huán)三維壓電螺釘運動平臺的詳細資料:

    閉環(huán)三維壓電螺釘運動平臺 特點:


    XYZ三維運動
    配有閉環(huán)增量式編碼器
    行程±12.5mm/軸
    納米級分辨率
    精度達1.5μm

    運動原理:XYZ65N81E26壓電螺釘運動平臺是采用壓電螺釘驅(qū)動,壓電螺釘?shù)倪\動是通過內(nèi)部壓電陶瓷的微運動,驅(qū)動螺紋桿旋轉(zhuǎn),從而沿著螺紋向前運動。螺紋桿的推動,使得載物移動平臺臺面的直線運動。


    圖片

    閉環(huán)三維壓電螺釘運動平臺 技術(shù)參數(shù):

    產(chǎn)品設(shè)計的參數(shù)如下表所示。


    型號
    XYZ65N81E26
    運動自由度
    X
    集成傳感器類型
    增量式編碼器
    標稱行程范圍
    ±12.5mm
    速度
    50μm/s
    閉/開環(huán)分辨率
    80nm
    線性度
    1.5μm
    重復度
    1.5μm
    承載能力
    1.5kg
    工作溫度
    0~50℃
    質(zhì)量(包含電纜)
    2.61kg
    材質(zhì)
    鋁、鋼
    電纜長度
    1.5m
    推薦控制器
    E53.D1E



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